檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "氧".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="化學機械拋光"
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隨著科技的發展,大眾對於電子產品的需求越來越多樣化,其中具備可撓特性之電子產品是近年來的發展趨勢,為了使傳統的電子元件擁有可撓的功能,大多利用可撓性基板取代傳統硬基板,而因為白雲母(Muscovit…
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單晶碳化矽晶圓(SiC)為一高崩潰電壓及低阻抗的材料,因此在高功率元件市場上有較大之需求,然而因單晶碳化矽晶圓之高硬度、高抗化學性等性質,使其在製造過程有加工時間繁長及成本高等問題。本研究主要針對單…